Директор Института нанотехнологии и наноэлектроники.

Родился 26 апреля 1936 г..

Доктор технических наук, профессор, академик РАЕН (1992).

Академик и президент Академии технологических наук.

Академик Инженерной академии РФ.

Член Американского Вакуумного общества (АVS).

Член Оптического и Физического общества.

Главный редактор журнала "Новые высокие технологии".

Лауреат Государственной премии.

Умер 10 апреля 2006 г..